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                SRBZ1440A

                关键字导读: ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS

                描述:采用〇磁流体密封技术,网络化控制系统,具有先进的防碰撞保护功能及动态纠偏功能,拥有SEMI认证,MCBF大于1000万次,同时具备超高洁净度,耐高温、耐腐蚀,负直接朝围杀了过来载能力强等特点。满足个性化设计支持用户定制,负载、手臂长度可选,可为客户提供接口及末端定制服务。是大负载真空◣机械手的优越之选。

                简介

                Introduction

                大负载真空机械手, LED芯片制造领域的真空机械手产品,主要用于LED芯片制造过程中,实现装有大量LED晶圆的托盘在各个工艺霸道气势冲天而起腔室间的传送,具有真空度高,负载大,传输效ω率高,耐高温等特点,大大提高了LED芯片生产制造的良率和效率,是LED芯片制∞造装备的关键产品。传统的LED芯片制造采用集成电路制造制程可谓是字字诛心应用的真空机械手,其负一道火红色载能力只有1kg。本产品在集成电路制造用真空机械手的基础上,针对◆其大负载需求,创新了其传输结构和控制规律,使其能够达到20.5kg的负载能力,同时保持很小的占用体积,保持高耐真空度及洁净等级。


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                参数

                Parameter


                结构形式Mechanical Structure柱坐标型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
                驱动方式Driving method伺服电机Servo Motor
                手数量Number of Arm单臂Single Arm
                负载Payload名称name托盘Tray
                直径diameterΦ710mm
                重量weight≤10.5kg
                自由度数DOF3
                手臂长度Arm Length355mm

                手指长度(安装中心⌒至硅片中心)

                Finger  length(distance from install center to wafer center)
                765mm

                运动范围

                Moving  Range
                Z轴Z-axis

                150mm

                R轴,机械△手旋转中心至工艺腔中心 R-axis, robot center to process chamber center极限(Ultimate)1440mm
                θ轴θ-axis无限回转Infinite Rotation

                全行程最」小时间

                Minimum running time
                Z轴Z-axis1s/35mm
                R轴R-axis5s/伸出或缩回Extend or Retraction
                θ轴θ-axis5s/180°

                重复定血脉进行转换位精度

                Repeatability
                θ轴(°)θ-Axis±0.01(3σ)
                R轴(mm)R-Axis±0.1(3σ)

                机械手带φ710mm负①载后最小回转直径

                Robot  minimum turning diameter with Φ 710 mm load
                1530mm

                伸出1440mm负载直径710mm最前端∑ 下垂量

                The  front sag of robot which out of 1440mm with Φ 710 mm load
                5.5mm
                重复定位精度Repeatability±0.2mm
                耐真空度Base Pressure (Pa)10--6Pa
                重量Weight机械手本只能执行第二套方案了体Main-body100kg
                控制器Controller15kg
                碰撞保护Collision Protect Function

                盘片和机械手♀无损伤/工位需重新◣校准
                             Disc  and robot without damage/need  to recalibrate position