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                PINUS1-B

                关键字导读: PECVD PVD ETCH MEMS

                描述:直驱电机结构,全新的IO模块,具有先进的防碰撞保护功能及输入信号支硬件中断功能 轟,拥有SEMI认证。满足个性化设计支持用户定制,手臂长々度可选,可为客户提供接口及末端定制服务。

                简介

                Introduction

                直驱电机结构具有更高的真空特盯著性,内部结构没有齿轮,皮带■等部件,系统运行的平稳性更好,可靠性墨麒麟看著那成片更高。全新的IO模块,具有更多的输出输入引脚,用户可以根据需〓求配置成互锁,传感ㄨ器检测等功能。输入信号支硬件中断功能,方便客户配置AWC等位置锁存功能应用。带有安全区配置功能和灵敏♂的碰撞保护功能,减少用户神色误操作导致的各种损失。带有大屏幕机器人示教器,方便调试人员使用,并支㊣ 持热插拔功能。可以根据客户应用的特ぷ殊要求,定制手臂尺寸,Z轴行程,耐高應該就是所謂温耐腐蚀特性等。


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                参数

                Parameter


                本体重量Body Weight50KG
                适╲用晶圆尺寸Wafer Size300mm/200mm/150mm/125mm/100mm
                负载Payload1KG
                电源输入Power SupplyAC电压:100-240V    AC频率:50HZ/60HZ
                节拍Bear4s-8.1s(Pick,Rotate180°,Place,根据手指材百曉生一進入三號貴賓室料,传■输位置不同相关)
                动态偏差纠正卐精度(AWC)±0.1mm
                重复定而那黑色珠子位精度RepeatabilityZ: ±0.05mm(3σ)
                T: ±0.003°(3σ)
                R: ±0.05mm(3σ)
                漏率Leak rate<  1 x 10E-9 std. cc/sec He
                真空度Base Pressure5X10-9Torr

                适用温度 Applicable  temperature

                法兰:<120℃;本体:<50℃;手臂:<120℃

                洁净度Clean Class

                ISO  CLASS1

                MCBF

                >1100million cycles

                复合运动 Compound  motion

                支持Support
                PC远程@ 操作软件支持Support
                通信接口Communications

                Ethernet/串口serial interface

                IO互锁IO interlock

                支持Support

                安全区Safe area

                支持Support

                碰撞保护Collision  protection

                支持Support