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                首页> 产品中心 > 洁净机器ζ 人 > 大气机械★手SRBJ1A-AS3491
                大气机︻械手SRBJ1A-AS3491

                关键地方字导读: TRACK ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS CMP COATING CLEAN DETECT

                描述:高洁净等级,高精度,高速传片,耐腐蚀,碰撞保护,Mapping功能,SEMI认证,提供接口及末端定制。

                简介

                Introduction

                大气机械手广泛用于硅晶圆】以及LED蓝宝石基片搬〓运。手臂采用先进的结构加强了手臂的刚性,并有效抑制振动,轻量化设计∑满足高速要求。本体的制造工艺改进有效降低成本,提升市场竞争◥力。材料、加工以及表面处理多方面一般优选,以实现高洁净度。具有多重安▓全保护功能。肘部←和腕部灵活控制,使得机器人可以采直接斩到了恶魔之主用任意姿势来取放晶元,允许更多的片盒直线排布,更□节省空间,适应性更强。是半导体行≡业的优势之选。


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                参数

                Parameter


                结构形式Mechanical Structure柱坐标型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
                负载Payload名称name晶圆wafer
                直径diameterΦ200mm/Φ300mm
                重量weight≤0.5kg
                自由度数DOF3
                最大回转@直径Maximum Swing diameter520mm

                运动范围

                Moving  Range
                升降轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis330mm
                回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis330°
                伸展轴 (R轴) Extension(Z)-AxisR736mm

                最大速度

                Maximum  Moving Speed
                升降轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis330mm/s
                回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis360°
                伸展轴 (R轴) Extension(Z)-Axis900mm/s

                重一切情报复定位精度

                Repeatability
                升降轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis±0.1 mm(3σ)
                回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis±0.01°(3σ)
                伸展轴 (R轴) Extension(Z)-Axis±0.1 mm(3σ)