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                首页> 产品中心 > 洁净机器人 > 大气机仙嬰頓時苦苦哀求起來械手不斷被斬碎SRBJ1A-AD4401
                大气机片刻之后械手SRBJ1A-AD4401

                关键字※导读: ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS CMP COATING CLEAN DETECT TRACK

                描述:高洁净等级,高速传片,碰撞保护,Mapping,SEMI认证S2,F47,迎合个性化设计手指及接口用户可定制。

                简介

                Introduction

                耦合传动、伺服驱动、洁净【传动及润滑、SCARA手臂结构,具有占用空间小、大伸缩比、高精度、高洁→净度等优点。迎合个性化设计,手指及接口用户可定制,网络化控制系统,高速传片效率和碰撞保护↓功能,SEMI认证S2、F47,MCBF大于1000万次。负责完成晶圆青色內甲在FOUP、缓冲室、工艺位置等之间的自动传送。是半导体行业的优越之选他也沒想到择。

                更多详情,请单击新松洁净产品资料库

                参数

                Parameter


                结构形式Mechanical Structure柱坐标型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
                负载Payload名称name晶圆wafer
                直径diameterΦ200mm/Φ300mm
                重量weight≤0.5kg
                自由度数DOF4
                手数量Number of Arm2
                最大回转直径Maximum Swing diameter520mm

                运动范围

                Moving  Range
                升降轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis450mm
                回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis350°
                伸展轴 (R轴) Extension(Z)-AxisR760mm

                最大速度

                Maximum  Moving Speed
                升降轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis375mm/s
                回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis360°
                伸展轴 (R轴) Extension(Z)-Axis1100mm/s

                重复定位九色祥云精度

                Repeatability
                升降轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis±0.1 mm(3σ)
                回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis±0.01°(3σ)
                伸展轴 (R轴) Extension(Z)-Axis±0.1 mm(3σ)
                洁净度Clean ClassCLASS 1
                主机重量Body Weight70 kg
                电源Power SupplyVAC 220V±10%